加速度计的简述（mems加速度计）

加速度计的简述（mems加速度计）

Mesm加速度计的应用领域一下是一些简单划分和介绍

其中msms加速度计的的结构设计原则
1、同向性原则：当硅微结构受到各方向冲击作用时，只有某一个或者几个方向最为敏感，其余方向则是迟钝的。
2、灵敏性设计原则：灵敏行设计是指在硅微结构空间中微纳米量级的位移能反映加速度的变化，并且有效的用相关电物理量（电容量）测定结果，所以有着姣好的灵敏度。